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氦质谱检漏仪检漏方法氦质谱重庆气密性检漏仪检漏方法根据被检工件的情况确定： 一、对于波纹管、各种充气接头、气管焊件等体积较小的零件，采用氦盖法将被检件排空，将检漏仪调整到泄漏率（10-11pa.M3/s），然后将氦注入氦盖，同时观察泄漏率显示。大幅度增加表明工件不合格。
二、对于大体积工件，采用背压，并根据工件尺寸试装不同尺寸的检漏罐。一般将被检工件冲入0.6MPa纯氦气或氦气（30%）氮气混合物中，然后放入检漏罐。首先利用辅助抽气系统抽至5pa以下，关闭抽气阀，打开检漏阀，进行检漏。泄漏率超过规定值为不合格。 三、对于分总成或总成，使用抽吸法。将被检件冲入氦氮混合气体中，用吸枪在被检件的装配面或疑似漏点处发现泄漏。如果检漏仪显示的值超过规定值，则表明存在泄漏。 |
