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氦质谱检漏仪的结构组成部分重庆气密性检漏仪主要由质谱仪室、真空系统和电控部分组成。检漏时，打开吸入阀V2和前泵，对检漏接口抽真空。当检漏接口真空度小于40pa时，打开精细检漏阀V4，关闭吸入阀v2。用分子泵的反扩散抽运方向在质谱仪室中检测氦。此时检漏仪的小检漏率为10-13pa·m3/s。
质谱检漏仪以其灵敏度高、反应速度快、定位准确、定量准确等优点得到了广泛的应用。但在长期使用过程中，经常会出现一些故障和现象，影响设备的正常使用。 Nhj-400氦质谱检漏仪是一种磁偏转180°的质谱分析系统。其基本原理是根据离子在磁场中运动时不同的偏转半径和不同的质量负载比来分离不同种类的离子。 上一篇检漏仪寻找漏点的方法下一篇氦质谱检漏仪的发展进程 |
