检漏仪在使用过程常见的故障

检漏仪在使用过程中可能会出现多种故障，以下是一些常见的故障及其解决方法：

内部泄漏：检漏仪内部的密封结构可能因为长时间使用或运输过程中的强烈震动导致密封胶开裂。解决方法是更换密封件，如氟橡胶圈或金属垫片，并确保安装时无泄漏。

本底信号不稳定：可能是由于环境本底被污染，检查实验室内是否有氦源在泄漏，并通风降低环境本底。也可能是泵油吸附氦气过多，需更换泵油。

机械泵声音异常和排气口冒烟：可能是因为机械泵油太脏或机械泵未转动。检查泵油是否需要更换，并确保机械泵正常工作。

分子泵不工作：可能是由于前级压力过高或分子泵叶片或转子损坏。检查前级压力和分子泵状态，并进行必要的维修或更换。

质谱室故障：如果质谱室被污染，需要送至维修中心进行清洗。检查质谱室的真空度，并确保其达到检漏要求。

灵敏度低：可能是由于质谱室压力未达到要求或离子源被污染。等待质谱室压力降至10^-6MPa以下再进行检漏，或清洗离子源。

氦本底太高：可能是由于机械泵油失效或系统有泄漏。更换机械泵油，并检查系统是否有泄漏点。

检漏键无效：可能是由于灯丝未启动或I/O短接插头未插入。检查灯丝启动状态和I/O短接插头连接情况。

设备无法启动：检查电源线连接是否正确，保险管是否熔断，并进行必要的更换 。

仪表内部有粉尘或其它污染：取出线路板进行吹扫和擦拭清洁。

温度仪表输入内部接线端子接触不良：拨出端子用酒精擦拭干净，然后重新连接。如果端子磨损严重，需要更换新的端子。

机械真空泵故障：清洗泵体、更换泵油、更换磨损件等方法进行维修。如果泵体磨损严重或无法修复，需要更换新的机械真空泵。